规格
横向分辨率 (xy)
低至 1 μm（视支架而定）
深度分辨率 (z)
低至 0.5 μm（与传感器的距离约 10%）
视野
最大 3 mm x 3 mm，自动缝合最大 5 cm x 5 cm
本底噪音
150 纳特（直流电）
缺陷类型
包装和模具：短裤（范围广）、漏水、开口
探测能力
开路和短路
灵敏度
<10 μt/√Hz
典型测量时间
5-10 分钟
要求
电压/功率
230 V（单相）/16 A
机械稳定性
带悬浮液的光学台，稳定的样品区域
操作温度
15-40 °C
环境
环境条件（室温和压力）
QD 范围
原生 QD 软件，专为故障分析工程师设计。
我们独特的软件界面通过专为半导体失效分析和计量团队设计的直观、强大的用户体验使先进的量子传感触手可及。
自动校准和直观控制
直观测量、无缝导航、灵活控制和智能自校准，适合所有级别的用户。
交互式数据和注释
同时访问所有数据组件，或
个别地。自由绘制、注释、标记数据，并以各种数据格式导出。
叠加可视化
将分析数据叠加在不同的相邻数据上，例如光学和红外图像以及热点数据。
电流密度重建
利用机器学习增强的 3D 交互式可视化和横截面视图，将您的磁场数据转换为电活动，以获得更深入、切实可行的见解。
大面积拼接
5 厘米 x 5 厘米的行程范围，无需更换样品即可拼接更大的图像。
产品和服务
精确的故障检测
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在实验室
缺陷定位的单芯片测试
在单芯片层面对缺陷进行高分辨率、无损定位，用于研发和故障分析。
In-Fab
缺陷计量的全晶圆测试
直接在晶圆厂环境中对缺陷进行全面的晶圆级定位和表征。
直列式
用于实时过程控制的自动晶圆映射
高通量晶圆映射，用于实时监控和优化生产流程。
找到你的用例
亲身体验 QDM
购买 Qdm.1，这是一款强大的工具，用于对电路中的电气活动进行成像，并以非破坏性方式隔离短路和开路故障。或者立即加入我们的独家演示计划，看看该系统在您的设施中的运行情况。
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